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日本SMC 平穩出氣閥XVD

產品時間：2024-11-15

閥與針閥一體化結構使配管縮短為原來的1/4。
（閥芯）座部分采用間隙隔膜，微粒子數量大幅降低。
伴隨主供氣初期供氣可進行流量調整。

產品介紹

日本SMC 平穩出氣閥XVD

高真空元件

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鋁制高真空L型閥 XL□

系列/CAD	動作方式	軸密封形式	閥形式	材質	法蘭尺寸
XLA	氣控	波紋管密封	單作用（N.C.）	閥體：　鋁合金波紋管：　SUS316L	16～80
XLAV （帶電磁閥）
XLC			雙作用
XLCV （帶電磁閥）
XLF		O形圈密封	單作用（N.C.）	閥體：　鋁合金	16～160
XLFV （帶電磁閥）
XLG			雙作用		16～80
XLGV （帶電磁閥）
XLD		波紋管? O形圈密封	單作用（N.C.）	閥體：　鋁合金波紋管：　SUS316L	25～80
XLDV （帶電磁閥）
XLH	手動	波紋管密封	手動	閥體：　鋁合金波紋管：　SUS316L	16～50
XLS	電磁式	波紋管壓力平衡	單作用（N.C.）		16, 25
特長	抗氟腐蝕能力強。放出氣體少。重金屬污染少。

鋁制快換接頭裝拆高真空L型閥 XLAQ·XLDQ

系列/CAD	動作方式	軸密封形式	閥形式	材質	法蘭尺寸
XLAQ	氣控	波紋管密封	單作用（N.C.）	閥體：　鋁波紋管：　SUS316L	16～50
XLDQ	氣控	波紋管密封 O形圈密封	單作用（N.C.）	閥體：　鋁波紋管：　SUS316L	40,50
特長	快換接頭裝拆（無需工具）

不銹鋼制高真空L型閥／直通閥 XM/XY

注）對直通型無尺寸16的閥。

系列/CAD （L型/直通型）	動作方式	軸密封方式	閥形式	材質	法蘭尺寸
XMA/XYA	氣控	波紋管密封	單作用（N.C.）	閥體：　 SCS13 　（相當SUS304）波紋管：　 SUS316L	16～80^注）
XMC/XYC		波紋管密封	雙作用	閥體：　 SCS13 　（相當SUS304）波紋管：　 SUS316L	16～80^注）
XMD/XYD		波紋管 O型圈密封	單作用（N.C.）	閥體：　SCS13 　（相當SUS304）波紋管：　SUS316L	25～80
XMH/XYH	手動	波紋管密封	手動	閥體：　SCS13 　（相當SUS304）波紋管：　SUS316L	16～50^注）
特長	采用精密鑄造一體化結構，無氣體滯留。與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性（XM系列）

磁性開關 D

系列	磁性開關種類	內容
D Series	有觸點的磁性開關	一般（通用型）
D Series	無觸點的磁性開關	一般（通用型）

平穩出氣閥 XVD

系列/CAD	閥形式	使用流體	配管連接方式	配管尺寸
XVD	常斷（加壓通/彈簧密封）	氮氣、空氣、惰性氣體等	VCR^® Swagelok^®	1/4B
特長	閥與針閥一體化結構使配管縮短為原來的1/4。（閥芯）座部分采用間隙隔膜，微粒子數量大幅降低。伴隨主供氣初期供氣可進行流量調整。

門閥 XGT

系列/CAD	使用壓力范圍（Pa）	使用流體	門尺寸（高×寬）（mm）	動作壓力（MPa）
XGT	大氣壓～1×10^-6	惰性氣體系的真空	32×222 46×236 50×336	0.45～0.6
特長	對于半導體裝置等場合、適合于負載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。

真空無桿氣缸 CYV

系列/CAD	使用環境壓力｛Pa （ABS）｝	缸徑（mm）
CYV	大氣～1.3×10^-4	15,32
特長	真空環境內（1.3×10^-4Pa）在搬運場合可以使用的氣缸。

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